100 Years of Vacuum Innovation - 100년 진공 기술 혁신의 역사

작성자 관리자

작성일 24-07-30 16:44

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Edwards의 100년 역사는 런던 남쪽, 진공 장비 수입으로 시작한 F.D Edwards의 작은 사무실에서 시작되었습니다.

그 이후로 지금까지 Edwards는 뛰어난 인재와 기술력으로 셀 수 없는 혁신들을 만들었고,

TV에서부터 우주 탐사, 휴대전화의 발전과 같은 과학적 진보를 통해 전 세계 수백만 사람들의 삶의 질을 향상시켰습니다.

이 글은 Edwards의 Central Technology의 Vice President인 Ian Stones이 찾은 Edwards의 역사와 Edwards가 바꾼 세상에 대한 이야기입니다.

 

 

 

 

 

창업자 F.D Edwards와 100년 진공의 역사

1919년 영국 런던, 물리학자 F.D Edwards는 Edwards Vacuum을 창립했습니다. 그는 오늘날 Edwards가 이렇게 성공하리라 상상하지 못했겠지만, 산업 및 기술 발전을 가능하게 하는 데 있어 진공의 중요성을 이미 알고 있었습니다. 전구, 구형(CTR) TV, 진공 밸브와 같은 것들이 LED, 평면 패널, 반도체 트랜지스터와 같은 완전히 새로운 기술로 대체되면서 진공에 대한 중요성과 진공 솔루션의 필요성이 놀라운 속도로 증가되었습니다.

 

 

 

 

 

 

과학과 기술의 발전을 가능하게 해준 진공 기술

Edwards는 지난 100년간 획기적인 발전을 이뤄냈으며 특히 진공은 과학과 기술 분야에서 더욱 중요한 역할을 수행하고 있습니다. 지난 10 년 동안 스마트폰과 태블릿, HB LED 조명, 태양광 PV 패널 및 전기 자동차 용 리튬 이온 배터리와 같은 많은 새로운 진공 애플리케이션이 등장하였고 성장해 왔으며 이처럼 진공이 없는 오늘날의 삶은 상상하기 어렵습니다.

 

 

 

반도체 공정에서의 진공과 저감 시스템의 역할

반도체 공정에서 진공과 저감은 무어의 법칙을 실현하는 서브팹의 가장 중요한 두 가지 기능입니다. 진공 펌프는 각 공정 단계에 필요한 진공을 제공하기 위해 공정 챔버를 비우는 동시에 사용하지 않은 공정 가스와 부산물을 제거하여 해당 가스를 안전하게 방출 또는 폐기할 수 있도록 처리하는 저감 시스템으로 전달합니다.

 

1980년대에는 새로운 반도체 공정과 다양한 공정 가스가 도입되어 기존 사용되어 온 오일 윤활식 ‘습식’ 펌프에 이와 같은 새로운 화학 물질과 부산물이 축적되는 문제로 서비스 주기가 짧아지고 소유 비용이 높아지는 문제가 발생했습니다. 이러한 문제는 오일 프리 ‘건식’ 펌프의 개발과 도입으로 해결될 수 있었습니다.

 

Edwards의 Henry Wycliffe는 1984년 루츠(Roots) 및 클로우(Claw) 건식 펌프에 대한 특허를 획득하여 복잡한 반도체 공정을 가능하게 하는 신기술로 인정되었으며, 그 이후로 Edwards는 무어의 법칙에 따라 빠르게 발전하는 반도체 공정의 가속화를 위해 지속적으로 혁신을 거듭해 왔습니다. 이렇듯 진공 및 저감 장비의 대대적인 혁신이 없었다면 지금의 새로운 공정의 존재는 불가능했을 것입니다.

 

Edwards 제품이 환경에 끼치는 영향 또한 광범위한 혁신에 초점을 맞추고 있습니다. 진공 펌프만 해도 반도체 제조 시설의 총 에너지 소비량의 최대 25%를 차지하며, Edwards는 사용되는 공정 가스의 복잡한 화학적 문제를 해결하는 동시에 보다 효율적이고 지속 가능한 제품을 제공하는 혁신에 대한 두터운 노하우를 가지고 있습니다. 예를 들어 최신 5세대 반도체 건식 펌프는 이전 세대 대비 50% 미만의 에너지를 사용하면서도 더 높은 수준의 성능, 연장된 서비스 간격, 훨씬 더 작은 설치 공간을 제공하여 서브팹 공간 활용도를 향상시킵니다. 마찬가지로 전 세계에 설치된 Edwards의 저감 시스템은 점점 더 까다로워지는 가스 화학 물질을 안전하게 관리할 수 있게 해주며, 매년 약 1400만 톤에 해당하는 탄소 배출을 절감하고 있습니다.

 

 

 

 

진공 및 저감 분야에서의 Edwards의 혁신

F.D Edwards는 혁신이 번창할 수 있는 환경을 조성한 매우 성공적인 기업가였으며, 이는 지금까지도 Edwards의 DNA로 남아있습니다.

 

우리가 서비스를 제공하는 많은 시장과 애플리케이션은 매우 역동적이며 제품에 대한 요구 사항이 자주 바뀌고 새롭고 까다롭기 때문에 복잡한 문제에 대한 혁신적인 솔루션을 개발할 수 있다는 것은 Edwards와 고객에게 매우 중요한 원동력입니다.

 

진공이 중요한 모든 새로운 응용 분야에서 앞서 나가기 위해 Edwards는 성공적인 혁신과 새로운 제품 및 기술을 지속적으로 개발해 왔습니다. 실제로 오늘날 Edwards는 진공 및 배기 가스 생성을 위한 20가지 이상의 다양한 원칙과 2300개 이상의 활성 특허 및 출원 중인 특허 포트폴리오를 보유하고 있습니다.

 

창업자 F.D Edwards의 기업 정신에서부터 Henry Wycliffe의 건식 펌프와 같이 매우 성공적인 일회성 혁신에 이르기까지, 혁신에 대한 접근 방식도 진화하여 미래 시장 동향을 내다보고 고객이 새로운 프로세스를 구현하기 위해 필요로 할 때 시장을 선도하고 획기적인 혁신 솔루션의 전체 파이프라인을 준비하는 현재의 전담 혁신 팀까지 지속적인 기술 리더십을 보장하기 위해 발전해 왔습니다. Edwards의 혁신 활동은 최종 제품 로드맵에 긴밀하게 통합되어 있으며, 지능형 주요 지표를 사용하여 활동의 관련성과 가치를 측정하여 우선순위를 실시간으로 결정하고 효율성과 효과를 최적화할 기회를 지속적으로 파악할 수 있습니다.

 

 

 

 

진공의 미래

미래를 예측하기는 불가능하지만 진공이 계속해서 중요한 역할을 할 것임은 분명합니다. 진공을 필요로 하는 응용 분야의 규모와 수는 계속 늘어나고 있으며 예상치 못한 기술 변화에도 Edwards는 혁신적인 솔루션으로 이에 대응할 수 있는 유리한 위치에 있을 것입니다.

 

날마다 발전하는 디지털 세상과 전자 제품들로 인해 점점 더 편리해지는 일상생활로 새롭고 더 나은 솔루션에 대한 끊임없는 수요가 이어지고 있습니다. 우리는 에너지 및 자원 효율성이 높은 제품을 통해 환경에 미치는 영향을 최소화하고 지속 가능하고 생산적인 방식으로 과학과 기술의 혁신을 지원하는 솔루션에 지속적으로 집중해야 합니다.

 

창업자 F.D Edwards도 Edwards가 100년의 역사 동안 이룩한 성과와 혁신에 대해 매우 자랑스러워할 것이라고 믿습니다. Edwards는 사업 운영에 있어 혁신을 중점으로 두며 지속적인 투자를 통해 향후 100년 또한 끊임없이 발전하는 기업이 될 수 있도록 노력하겠습니다.

 

 

 

 

 

 

 

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