• 진공 교육
  • 진공 심화 교육

학습 목표​

진공 교육을 처음 수강하는 분들을 위한 1일 교육입니다.
진공의 정의와 단위를 이해하고 건식 펌프(Dry Pump) 및 터보 분자 펌프 (Turbo Molecular Pump, TMP) 등 다양한 공정에서 사용되는
진공 펌프의 역할과 구조, 동작 원리, 특징 및 구성 요소를 알아봅니다.

교육 시간 Vacuum & vacuum pump Fundamentals of vacuum
1 09:00 ~ 09:30 Vacuum Technology
- 진공의 단위, 절대압력 vs 게이지압력
- Vacuum ranges, Applications
Vacuum pump ranges
평균자유행로, 분자충돌성시간
증기압 곡선
- 배기속력, Conductance, Throughput
Concepts in vacuum technology
- 진공의 단위, 절대압력 vs 게이지압력
- Vacuum ranges, Applications
- Vacuum pump ranges
- 평균자유행로, 분자충돌성시간
증기압 곡선
- 배기속력, Conductance, Throughput

Vacuum System
- Vacuum chamber
- Foreline
- Leak
09:30 ~ 10:00
2 10:00 ~ 10:30
10:30 ~ 11:00
3 11:00 ~ 11:30
11:30 ~ 12:00
점심시간 12:00 ~ 13:00 점심시간 점심시간
4 13:00 ~ 13:30 C3 Tour C3 Tour
13:30 ~ 14:00
5 14:00 ~ 14:30 Dry pump 이론 교육
- 종류, 구조, 작동원리
- Booster와 Dry pump의 관계
- Cooling system & Gas system in Dry pump
Selection of vacuum pump
- Vacuum pump mechanism
- Vacuum pump의 선정
14:30 ~ 15:00
6 15:00 ~ 15:30
15:30 ~ 16:00 TMP 이론 교육
종류, 구조 및 작동 원리
- Max flow & Creep 특성
- Backing pump의 영향
- 고진공 system의 운용
7 16:00 ~ 16:30 Q & A
16:30 ~ 17:00

* 교육 일정은 고객사 요청 및 상황에 따라 변경될 수 있습니다.

학습 목표​

2일 동안 진행되는 진공 교육은 심화 단계의 맞춤형 진공 교육 프로그램입니다.
(교육은 화,수에 진행됩니다.)

교육 시간 1일차 (Vacuum Technology) 2일차 (Vacuum pump)
1 09:00 ~ 09:30 Q & A
- 사전 질문을 받아 질문에 대한 설명
Conductance & pumping speed
Dry pump 이론
09:30 ~ 10:00
2 10:00 ~ 10:30
10:30 ~ 11:00
3 11:00 ~ 11:30 Dry pump 실습
11:30 ~ 12:00
4 12:00 ~ 13:00 점심 시간
5 13:00 ~ 13:30 C3 Tour Experiments
: Phenomena in vacuum
: Pumping speed & Conductance
13:30 ~ 14:00
6 14:00 ~ 14:30 ROR test의 의미와 Leak rate
Issues related to vacuum
14:30 ~ 15:00 TMP 이론
7 15:00 ~ 15:30
15:30 ~ 16:00
8 16:00 ~ 16:30 Q & A Q & A
16:30 ~ 17:00

* 교육 일정은 고객사 요청 및 상황에 따라 변경될 수 있습니다.